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技術(shù)文章
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    氫化物氣體檢測(cè)分析儀
    型　號(hào)：FP-260
    品　牌：日本理研RIKEN
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè)半導(dǎo)體各種氣體
    海北氫化物氣體檢測(cè)分析儀-FP-260-日本理研RIKEN
    詳細(xì)介紹
    工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測(cè)儀
    更適于低濃度氣體檢測(cè)（ppm級(jí)）
    抗干擾性強(qiáng)
    盒式帶取放簡(jiǎn)便
    盒帶剩余量顯示
    功能描述
    使用盒式紙帶的光電光度學(xué)原理
    盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶
    AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測(cè)狀態(tài)耗能為35VA，，在紙帶卷動(dòng)時(shí)耗能為60VA)
    物理特性
    370mm
    275mm
    220mm
    約12kg
    持有證書(shū)
    CE
    其它
    檢測(cè)氣體和范圍
    檢測(cè)氣體
    TLV值
    檢測(cè)范圍
    解析值
    磷 PH4
    300ppb
    0--900ppb
    5
    四氫化硅 SiH4
    5ppm
    0--15ppm
    0.25
    乙硼烷 B2H6
    100ppb
    0--300ppb
    5
    砷烷AsH3
    50ppb
    0--150ppb
    1
    乙硅烷 SiH6
    5ppm
    0--10ppm
    0.1
    硫化氫 HS2
    10ppm
    0--100ppm
    1
    光氣 COCl2
    100ppb
    0--300ppb
    2
    氯氣 Cl2
    0.5ppm
    0--100ppb
    1
    硒化氫 H2Se
    50ppb
    0--300ppb
    2
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